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风囊泵的工作原理(风囊泵与隔膜泵区别)

时间： 2024-03-26 15:26 来源：美宝泵业集团点击：513

　　半导体和MEM制造工艺中晶片清洗工艺中，对液体的纯净度要求是非常严苛的，通常会用到强碱、强酸等腐蚀性流体，对泵浦设备的性能和材料都有极高的要求，传统的金属泵体肯定无法实现，这里就出现了以PTFE为基材的风囊泵。

风囊泵(半导体泵).png

　　风囊泵的工作原理

　　风囊泵的工作原理是采用压缩空气为动力源，通过换向阀控制压缩空气依次进入两个气相工作腔工作，利用液相腔的交替吸液排液，实现对液体的输送的泵。风囊泵中两个风囊将泵腔分为两个工作腔，每个工作腔分为气相工作腔和液相工作腔两部分，压缩空气进入泵的气相工作腔后，压缩风囊变形往复移动，实现液体介质的输送。

　　美宝风囊泵特点

风囊泵反面(2).png

　　泵体于液体接触部分全部由超纯氟材料制成，耐化学腐蚀特性强，金属离子与颗粒等污染物析出量非常低;

　　泵壳使用铝合金材质以增强壳体强度，并采用多层氧材料涂覆以增强防腐蚀能力;

　　百级、万级无尘车间流水线生产，产品一致性高，产品交付货期短;

　　产品通过CE欧盟共同体安全认证。

　　风囊泵与隔膜泵区别

　　隔膜泵是一种利用活塞运动来输送液体的泵，它由一个隔膜和一个活塞组成，隔膜将泵的内部空间分为两个部分，一部分是空气室，另一部分是液体室。当隔膜泵工作时，活塞来回运动，使得隔膜来回移动，从而改变两个室之间的压力差，实现泵水或输送其他液体的功能。隔膜泵的优点在于它具有较高的输送压力和流量控制精度，适用于输送高粘度液体和悬浮液等特殊介质。

　　风囊泵除具有气动隔膜泵的主要优点外, 因采用全氟材料，无任何金属，耐腐蚀性，耐高温性更强，好高使用温度可达到 210 ℃;采用风囊结构使用寿命更长，更适用于连续工作情况;液体脉动较气动隔膜泵小，如在管路中加装脉冲缓冲器，脉动将会大幅度减小;在流体路径中没有任何叶轮部件,不会产生微型气泡、粒子和离子污染，而且产品都是在 class 100 级的洁净室内完成测试包装，非常适合半导体等洁净度要求较高的行业使用。

　　总的来说，风囊泵和隔膜泵在工作原理和结构上存在明显的差异。风囊泵主要利用风能驱动，结构简单可靠，适用于泵水或输送其他液体;而隔膜泵则利用活塞运动来实现输送，具有较高的输送压力和流量控制精度，适用于特殊介质的输送。在实际应用中，可以根据不同的需求选择合适的泵型。

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