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风囊泵的工作原理(风囊泵与隔膜泵区别)

时间: 2024-03-26 15:26 来源:美宝泵业集团 点击:656

  半导体和MEM制造工艺中晶片清洗工艺中,对液体的纯净度要求是非常严苛的,通常会用到强碱、强酸等腐蚀性流体,对泵浦设备的性能和材料都有极高的要求,传统的金属泵体肯定无法实现,这里就出现了以PTFE为基材的风囊泵。

风囊泵(半导体泵).png

  风囊泵的工作原理

  风囊泵的工作原理是采用压缩空气为动力源,通过换向阀控制压缩空气依次进入两个气相工作腔工作,利用液相腔的交替吸液排液,实现对液体的输送的泵。风囊泵中两个风囊将泵腔分为两个工作腔,每个工作腔分为气相工作腔和液相工作腔两部分,压缩空气进入泵的气相工作腔后,压缩风囊变形往复移动,实现液体介质的输送。

  美宝风囊泵特点

风囊泵反面(2).png

  泵体于液体接触部分全部由超纯氟材料制成,耐化学腐蚀特性强,金属离子与颗粒等污染物析出量非常低;

  泵壳使用铝合金材质以增强壳体强度,并采用多层氧材料涂覆以增强防腐蚀能力;

  百级、万级无尘车间流水线生产,产品一致性高,产品交付货期短;

  产品通过CE欧盟共同体安全认证。

  风囊泵与隔膜泵区别

  隔膜泵是一种利用活塞运动来输送液体的泵,它由一个隔膜和一个活塞组成,隔膜将泵的内部空间分为两个部分,一部分是空气室,另一部分是液体室。当隔膜泵工作时,活塞来回运动,使得隔膜来回移动,从而改变两个室之间的压力差,实现泵水或输送其他液体的功能。隔膜泵的优点在于它具有较高的输送压力和流量控制精度,适用于输送高粘度液体和悬浮液等特殊介质。

  风囊泵除具有气动隔膜泵的主要优点外, 因采用全氟材料,无任何金属,耐腐蚀性,耐高温性更强,好高使用温度可达到 210 ℃;采用风囊结构使用寿命更长,更适用于连续工作情况;液体脉动较气动隔膜泵小,如在管路中加装脉冲缓冲器,脉动将会大幅度减小;在流体路径中没有任何叶轮部件,不会产生微型气泡、粒子和离子污染,而且产品都是在 class 100 级的洁净室内完成测试包装,非常适合半导体等洁净度要求较高的行业使用。

  总的来说,风囊泵和隔膜泵在工作原理和结构上存在明显的差异。风囊泵主要利用风能驱动,结构简单可靠,适用于泵水或输送其他液体;而隔膜泵则利用活塞运动来实现输送,具有较高的输送压力和流量控制精度,适用于特殊介质的输送。在实际应用中,可以根据不同的需求选择合适的泵型。

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